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悬挂式单轨系统 –洁净室单轨输送系统(Cleanway)

用于光罩(Reticle)的悬挂式单轨系统 –Reticle Cleanway

自动仓库–洁净立库(Clean Stocker)

洁净塔式柜30(Zip Tower 30)

氮气净化立库

xMCS®
x[excellent, extendable, experienced] Material Control System

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垃圾车内部清洗设备
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