半導体・液晶生産ライン向けシステム

半導体、液晶パネル製造の自動化に欠かせないクリーンルーム向けAMHS(Automated Material Handling System)を世界中のユーザーに納入しています。ダイフクのAMHSは、業界に誇る高い技術力により低発塵、低振動、高信頼性を実現しています。また近年では、窒素パージやエア浮上といったユニークな技術で半導体の微細化、液晶の高精細化ニーズにも応えており、最先端のデジタル製品の生産現場の物流合理化に大きく貢献しています。

半導体

クリーンルーム内の半導体生産工程で、24時間・365日、ウエハの工程間搬送を止めることなく稼働させるための信頼性の高い保管・搬送システム。半導体の進化のキーワードである「微細化」に対応した窒素パージ式の保管システム、生産設備の稼働率を最大化するソリューションなど提供しています。

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液晶

高能力、高クリーン度を実現するダイフクの液晶ガラス基板の搬送・保管システム。第4世代から第10世代まで各世代の幅広いカセットサイズのガラス基板の搬送・保管に対応しています。スマートフォンなどで採用が進む有機ELパネル向けのシステムも手掛けています。

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