NEDO公募「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(委託)」における「先端パッケージング等を含む後工程の自動化にかかる技術開発」の採択について

株式会社ダイフク(本社:大阪市西淀川区、代表取締役社長:下代 博、以下「ダイフク」)は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発(委託)」において、半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(SATAS)が提案した「半導体後工程自動化・標準化の開発・実証に関する研究開発」が採択されたことを受け、本事業に参画することをお知らせします。

「半導体後工程自動化・標準化の開発・実証に関する研究開発」では、後工程の完全自動化に必要となる各装置間の物理的・論理的な業界標準インタフェースの仕様を作成し、その仕様に従った装置の開発と実装ならびに単体試験を実施、各装置を統合したパイロットラインでの結合試験や動作検証を経て、パイロットライン全体としてのエネルギー生産性改善に資する研究開発を行います。この標準インタフェースと自動化技術が実現すれば、半導体後工程の生産プロセスに並列処理の概念を取り入れることにより、多様なSoC(System on a Chip)技術に対応した柔軟性の高い後工程の完全自動化ラインを構築することが可能となります。

ダイフクは、半導体製造後工程の省力化、自動化の実現に向け、AMHSの分野にて当社が持ち得る知見をいかし、本プロジェクトの目標である標準化・実用化への活動に貢献します。

詳細につきましては、下記のウェブサイトをご覧ください。

経済産業省Webサイト
NEDO Webサイト
SATAS Webサイト

本件に関するお問い合わせ先
株式会社ダイフク 広報部
TEL:03-6721-3505

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