Eine fotografische Geschichte der Daifuku-Entwicklung des Cleanway Reinraumtransportsystems

In der zweiten Hälfte des 20. Jahrhunderts revolutionierten Halbleiter die Elektronik und wurden zu einem integralen Bestandteil einer Vielzahl von Produkten, was zu einem raschen Anstieg der Nachfrage führte. Für die Halbleiterfertigung bedeutete das Erreichen einer hohen Leistung und einer Verbesserung der Ausbeute die Aufrechterhaltung eines unglaublich hohen Grades an Luftreinheit. Der effektivste Weg, diese Werte aufrechtzuerhalten, bestand darin, den Einsatz von Arbeitern, der Hauptquelle für Staub, zu minimieren und so den Bedarf an automatischen Abläufen zu eliminieren.

Um diesen Anforderungen gerecht zu werden, entwickelte Daifuku 1984 den Cleanway als automatisches Transportsystem für Halbleiterwafer. Dieses System beinhaltete Telelift Technologie von Daifuku, die zu einer tragenden Säule der Transportsysteme geworden war und dazu beitrug, einen vibrationsarmen Hochgeschwindigkeitstransport sicherzustellen. Bei der Konzeption des Systems wurde besonderes Augenmerk auf die Minimierung der Staubentwicklung der Transportwagen gelegt, da Transportbehälter im Gegensatz zu heutigen Konstruktionen damals üblich waren und über offene Waferkassetten verfügten.

Das Cleanway System hat sich zu einem führenden Produkt in Reinräumen entwickelt und wird von Halbleiterherstellern auf der ganzen Welt eingesetzt. Daifuku ist weiterhin bestrebt, das Cleanway System kontinuierlich zu verbessern, indem es Kundenfeedback einbezieht und gleichzeitig bestrebt ist, den Automatisierungsanforderungen in Back-End-Prozessen gerecht zu werden. Da Halbleiter zu einer grundlegenden Technologie in der heutigen digitalen Gesellschaft geworden sind, engagiert sich Daifuku für die Förderung von Qualität, Stabilität und Zuverlässigkeit in diesem wichtigen Sektor.

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