老照片见证大福历史大福开发洁净室单轨输送系统（Cleanway）
20 世纪下半叶，半导体彻底改变了电子产品，成为多种产品中不可或缺的组成部分，这也使半导体的需求迅速增长。在半导体制造过程中，为了实现高性能并提高产量，必须保持极高水平的空气清洁度，而且需将“人工参与”这一最大的粉尘来源降至最低，因此实现作业的自动化极为重要。
为了满足这些需求，大福于 1984 年开发了洁净室单轨输送系统（Cleanway），用于半导体晶圆的自动输送。该系统采用了当时大福主要搬运系统之一的“Telelift”技术，除了抑制粉尘的产生外，还实现了高速搬运和低振动。与现在不同的是，开发最初的搬运小车是在轨道上运行的。当时，晶圆的直径一般为150mm或200mm，而且传送盒都不是密封的，所以必须保持整个工厂的高度清洁。在自动输送晶圆盒时，需固定容器底部或侧面进行移载，因此设计时必须尽量减少搬运小车的粉尘发生。
洁净室单轨输送系统（Cleanway）已成为洁净室的主导产品，被世界各地的半导体制造商所采用。我们根据客户的反馈不断改进洁净室单轨输送系统（Cleanway），同时努力满足不断增长的半导体后道工序的自动化需求。目前，半导体已成为当今数字社会的基础技术，我们将致力于提高这一重要领域的产品质量、稳定性和可靠性。
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- *本文根据《日新 大福50周年史》和《大福公司70周年纪念杂志》等资料改编而成。