Cleanway 클린룸 운송 시스템의 Daifuku 개발 사진 역사​

20세기 후반, 반도체는 전자제품에 혁명을 일으켰고 다양한 제품의 필수 구성요소가 되면서 수요가 급격히 증가했습니다. 반도체 제조에 있어서 고성능을 달성하고 수율을 향상시키는 것은 믿을 수 없을 만큼 높은 수준의 공기 청정도를 유지하는 것을 의미했습니다. 이러한 수준을 유지하는 가장 효과적인 방법은 먼지의 주요 원인인 작업자의 개입을 최소화하여 자동 작업의 필요성을 없애는 것이었습니다.

이러한 요구 사항을 충족하기 위해 Daifuku는 1984년에 반도체 웨이퍼용 자동 운송 시스템인 Cleanway 개발했습니다. 이 시스템은 운송 시스템의 중심이 된 Daifuku의 Telelift 기술을 통합하여 저진동, 고속 운송을 보장하는 데 도움을 주었습니다. 시스템을 설계할 때 현재 설계와 달리 당시에는 운송 컨테이너에 웨이퍼 카세트가 열려 있는 것이 일반적이었기 때문에 운송 카트에서 먼지 발생을 최소화하는 데 특별한 주의를 기울였습니다.

Cleanway 시스템은 클린룸의 선도적인 제품이 되었으며 전 세계 반도체 제조업체에서 사용하고 있습니다. Daifuku는 고객 피드백을 통합하여 Cleanway 시스템을 지속적으로 개선하는 동시에 백엔드 프로세스의 자동화 요구 사항을 충족시키기 위해 노력하고 있습니다. 반도체가 오늘날 디지털 사회의 기본 기술이 되면서 Daifuku는 이 중요한 부문에서 품질, 안정성 및 신뢰성을 향상시키기 위해 최선을 다하고 있습니다.

관련된 링크들

• 클린룸 현장
• Daifuku의 반도체 생산 라인 시스템으로 신뢰성과 생산성 향상