350ｍ160ｍ新たな価値共創への挑戦半導体・液晶生産ライン向けシステムeFAElectronics Factory Automation取締役 常務執行役員 eFA事業部門長佐藤 誠治事業紹介 半導体工場の製造工程は千数百に達します。大規模な工場では、クリーンルームの天井に張り巡らせた工程間搬送用走行レールの総延長は10kmに及び、数百台を超えるウエハ搬送ビークルが24時間365日稼働しています。仕掛り中のウエハは極めてデリケートな取り扱いを要し、半導体の微細化に伴って、さらなる低振動化が求められています。生産計画に沿ってビークル運行を管理するソフトウエアも高度化・複雑化しています。最先端半導体工場の例半導体・液晶・有機EL工場にクリーンルーム専用の保管・搬送システムを提供しています。半導体の微細化、液晶パネルの大型化、有機ELパネルの生産などに適した最先端技術により高いシェアを獲得しています。レチクルストッカーサッカーコート 約8面分の面積天井走行式搬送システム窒素パージストッカー※※保管中の容器への窒素注入を可能にした自動倉庫ビジネス別売上構成 2018年度26
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